ベーキング
真空チャンバーをポンプで排気しても超高真空に
到達するためには長時間をかけてもなかなか達し
ません。一般的にベーキングと呼ばれるか加熱脱
ガス処理を行います。
ベーキングは、真空排気しながら真空チャンバー
全体をヒーターなどで１００〜４００℃に加熱し材料
表面に吸着している水分などのガス分子のエネル
ギーが吸着の結合エネルギーに近づいたり、または
大きくなることで蒸発します。ベーキングしているとき
は、水分などの蒸発が進み圧力が一時的に上昇しま
すが、徐々に減少していきます。
ベーキング温度はステンレスの場合２００〜４００℃
で、アルミの場合は１５０℃です、
ベーキング時間は、高真空の場合数時間で、超高真
空では１〜２日間かかり、ベーキングを終了すると真空
チャンバーが徐々に常温に戻るにつれて圧力が急激に
減少し超高真空に到達するのです。
真空チャンバーの製作や修理、改造、真空ポンプの
更新など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
３月１０日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝６℃、昼９℃
です。
そろそろ国際宇宙ステーションの日本の
実験棟「きぼう」がさまざまな宇宙での
ミッションを行うた地球から放たれます。
最高の成果が出ることを希望します。