平衡蒸気圧
大気圧１ａｔｍ（１０ 5Pa）には多くのガス分子が存在します。
真空ポンプによりチャンバー内の気体を排気することで真空
（まさにカラ）の状態を作るわけです。
超高真空領域まで行くと、真空排気し難いガス分子が出て
きます。高真空対応の機械的なポンプでは排気できなくなり
低温を利用してガス分子を吸着させる方法が取られます。
液体窒素トラップや電気的に液体ヘリウム温度のコールドステ
ージをつくりガス分子を捕まえるわけです。
それでは、低温で各種ガスがどれだけ排気できるかの目安を
飽和蒸気圧で見てみましょう。
先ず、２０Ｋの液体水素温度では・・・
ＣＯ ： 4 x 10 -12Pa
Ａｒ ： 6.3 x 10 -12Pa
Ｎ２ ： 1.3 x 10 -9Pa
Ｎｅ ： 4 x 10 3Pa
Ｈ２ ： 9 x 10 4Pa
です。
ヘリウム、水素、ネオン以外は１０ -9Pa 以下の超高真空領域
になり、排気が可能です。
液体ヘリウム温度の４．２Ｋではどうでしょう？
ＣＯ ： < １０ -12Pa
Ａｒ ： < １０ -12Pa
Ｎ２ ： < １０ -12Pa
Ｎｅ ： < １０ -12Pa
Ｄ２ ： 4.6 x 10 -9Pa
Ｈ２ ： 5.6 x 10 -5Pa
Ｈｅ ： １０ 5Pa
水素、ヘリウム以外は超高真空領域ですので、この低温
面を真空雰囲気に晒せば真空ポンプとして排気することが
できるわけです。これがクライオポンプですね。
クライオスタット、クライオポンプ、真空二重配管など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
２月２日
天気 くもり
気温 ６℃
です。
中国の寒波で、広州駅前に移動できない人が２０万人
いて、身動きとれず、飲食もままならず亡くなる方が
いらっしゃるそうです。
昔から、旧正月に帰省する大勢の人並みの映像が
流されていましたが、これも広州駅でしたよね。