残留ガスの分析
真空装置の中に残っている残留ガスを調べる方法は
マスフィルターと呼ばれる質量分析器が一般的に利用さ
れています。
この分析器で、ガス毎のマスナンバーを、水素は１、ヘ
リウムは４、水は１８、COは２８など質量によって元素や分
子を固定して特定するのです。
マスフィルターの構成は、残留ガスを電離するイオン源、
イオンを効率よく分析電極に導入するための静電レンズ、
分析電極としての四重極電極、イオン電流を検出するファラ
デーカップからなります。このファラデーカップは、イオン電流
が微弱な超高真空に適した二次電子倍増管に変わっていま
す。
その仕組みは難解ですが、高電圧と高周波を四重極に加え
適当な質量数のイオンだけが共振して電極を通過してフィルタ
ーのように所定の質量だけを通過させ残留ガスのスペクトルに
表わし成分比までピークであらわされます。同じピークの近くに
は同位元素や水や油の検出の邪魔をするものの有無まで判断
できます。
半導体や核融合、加速器などクリーンな真空を確認するために
は残留ガス分析は欠かせないものです。
ガスマス、Qマスなどの残留ガス分析器は川口液化ケミカル株式
会社までお気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
１月３０日
天気 ４℃
ボンベ庫の温度 朝４℃、昼７℃、夜７℃
です。
ホッとするような暖かい一日でしたね。
直射日光の日差しが強いお昼間は乗用車の
社内が厚着の冬仕様では暑いくらいでしたね。