真空中の水分
真空チャンバーでいくら真空排気してもなかなか真空度が上が
らず、なぜか？なぜか？といった五里霧中のようなあてのないリ
ーク探しになってしまう現場を経験されたことはないでしょうか。
実際にリークが見付ったとしても、以外に見落としがちなのが
水分です。特に高真空になってくると水分が悪さをして思うに任
せない状況になる場合も多々あります。
たとえば常温の真空チャンバーで真空排気しながらチャンバー
ベーキングすることで金属表面に水分がどれだけ残留しているか
その挙動を見てみましょう。
真空度 １．０６ x １０ -4Pa
ベーキング前
各種ガス分圧
H2 : 7.2%
H2O : 51.3%
CH4 : 2.5%
CO : 21.7%
CO2 : 6.6%
Hg : 10.7% (水銀拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ）
真空度 ５．３ x １０ -5Pa
１２７℃ベーキング
分圧
H2 : 12.8%
H2O : 23.0%
CH4 : 1.8%
CO : 30.4%
CO2 : 3.7%
Hg : 28.3%
真空度 ６．６ x １０ -7Pa
２２７℃ベーキング
分圧
H2 : 22.6%
H2O : 12.7%
CH4 : 2.5%
CO : 53.7%
CO2 : 8.5%
Hg : –
※「真空排気とｶﾞｽ放出」（共立出版より）
ベーキング前の主成分がH2Oであったのが、ベーキングにより
最も減少しているのもH2Oなのです。常温で排気を行うにはとて
も厄介なガスであることが解りますね。
真空チャンバーの製作、真空排気、真空計など
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今日の埼玉川口のお天気は？
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝４℃、昼５℃、夜５℃
です。
年賀はがきの当選番号発表がありましたね。
宝くじと違い景品は知れたものですが、何かあたらないかな？
などとウキウキするものですよね。