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真空中の水分

 真空チャンバーでいくら真空排気してもなかなか真空度が上が
らず、なぜか?なぜか?といった五里霧中のようなあてのないリ
ーク探しになってしまう現場を経験されたことはないでしょうか。

 実際にリークが見付ったとしても、以外に見落としがちなのが
水分です。特に高真空になってくると水分が悪さをして思うに任
せない状況になる場合も多々あります。
 たとえば常温の真空チャンバーで真空排気しながらチャンバー
ベーキングすることで金属表面に水分がどれだけ残留しているか
その挙動を見てみましょう。

真空度 1.06 x 10 -4Pa
ベーキング前 
各種ガス分圧
H2   : 7.2%
H2O  : 51.3%
CH4  :  2.5%
CO   :  21.7%
CO2  :  6.6%
Hg   :  10.7% (水銀拡散ポンプ)

真空度 5.3 x 10 -5Pa
127℃ベーキング
分圧
H2   :  12.8%
H2O  : 23.0%
CH4  :  1.8%
CO   : 30.4%
CO2  :  3.7%
Hg   : 28.3%

真空度 6.6 x 10 -7Pa
227℃ベーキング
分圧
H2   : 22.6%
H2O  : 12.7%
CH4  :  2.5%
CO   :  53.7%
CO2  :  8.5%
Hg   :   –
※「真空排気とガス放出」(共立出版より)

ベーキング前の主成分がH2Oであったのが、ベーキングにより
最も減少しているのもH2Oなのです。常温で排気を行うにはとて
も厄介なガスであることが解りますね。

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 天気 はれ
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です。
年賀はがきの当選番号発表がありましたね。
宝くじと違い景品は知れたものですが、何かあたらないかな?
などとウキウキするものですよね。

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