リアクティブイオンエッチング
エッチングの一つであるRIE（リアクティブイオン
エッチング）はイオンを引きつけて大きな面積に
当てることでエッチングする方法です。
二極スパッタのターゲット面積に制限はなく大
面積を一度にエッチングすることができることが
特徴です。また、アルゴンガスを利用すればス
パッタによるエッチングが可能です。
フロン等化学的に活性なフロン・塩素・水素な
どの化合物を利用するとアルゴンガスだけのとき
の数十倍の反応速度にもなります。
大量生産や安定したエッチング処理を行うため
に連続装置として微細加工を行うためにこの装置
が用いられております。
真空装置のガス導入系MFC（マスフロコントローラー）
やレギュレーター・バルブ・ガス供給パネルユニットの
製作など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
12月16日
天気 はれ
気温 3℃
です。
朝八時、公園を散歩すると息が白く寒さが身に沁みました。
青空には雲ひとつなく太陽がキラキラとしスキッとした空気
はとても気持ちが良かったです。