川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ 048-282-3665

ホーム  /  ブログ  /  真空の知恵  /  リアクティブイオンエッチング

リアクティブイオンエッチング

 エッチングの一つであるRIE(リアクティブイオン
エッチング)はイオンを引きつけて大きな面積に
当てることでエッチングする方法です。
 二極スパッタのターゲット面積に制限はなく大
面積を一度にエッチングすることができることが
特徴です。また、アルゴンガスを利用すればス
パッタによるエッチングが可能です。
 フロン等化学的に活性なフロン・塩素・水素な
どの化合物を利用するとアルゴンガスだけのとき
の数十倍の反応速度にもなります。
 大量生産や安定したエッチング処理を行うため
に連続装置として微細加工を行うためにこの装置
が用いられております。

真空装置のガス導入系MFC(マスフロコントローラー)
やレギュレーター・バルブ・ガス供給パネルユニットの
製作など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。

TEL 048-282-3665

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 12月16日
 天気 はれ
 気温 3℃

です。
朝八時、公園を散歩すると息が白く寒さが身に沁みました。
青空には雲ひとつなく太陽がキラキラとしスキッとした空気
はとても気持ちが良かったです。

川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ  048-282-3665