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リアクティブイオンエッチング

 エッチングの一つであるRIE(リアクティブイオン
エッチング)はイオンを引きつけて大きな面積に
当てることでエッチングする方法です。
 二極スパッタのターゲット面積に制限はなく大
面積を一度にエッチングすることができることが
特徴です。また、アルゴンガスを利用すればス
パッタによるエッチングが可能です。
 フロン等化学的に活性なフロン・塩素・水素な
どの化合物を利用するとアルゴンガスだけのとき
の数十倍の反応速度にもなります。
 大量生産や安定したエッチング処理を行うため
に連続装置として微細加工を行うためにこの装置
が用いられております。

真空装置のガス導入系MFC(マスフロコントローラー)
やレギュレーター・バルブ・ガス供給パネルユニットの
製作など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 12月16日
 天気 はれ
 気温 3℃

です。
朝八時、公園を散歩すると息が白く寒さが身に沁みました。
青空には雲ひとつなく太陽がキラキラとしスキッとした空気
はとても気持ちが良かったです。

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