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エッチング

 半導体製造工程などで超微細加工の技術が年々進歩
しています。つい先日も、携帯型メモリの容量が数倍に増
える技術を某社が開発し、これまでDVD映画が1本分しか
記録できなかった容量がなんと7本近く記録できる商品とな
り出てくるそうです。これは限られたスペースにどれだけ多く
の機能を盛り込むかを追求した結果です。
 高集積化と超微細加工を実現するためにさまざまな技術が
注ぎ込まれておりますが、エッチング(削る技術)もその一つ
です。
 エッチングの身近な使用例では、ガラス窓に会社名など刻み
込んである文字に「エッチング」処理を薬品で施したものがあり
ます。薬品を使用しない方法はドライエッチングと呼ばれ薬液が
微細な隙間に残らない清浄な方法です。
 たとえば木材に穴を彫るのにノミを使うとすると、そのノミの刃
の大きさ以下の小さな穴を彫ることは不可能です。ドライエッチ
ングの場合にはこのノミの大きさを、気体の分子程度(0.5nm
:百万分の0.5mm)まで小さくすることができるのです。
 エッチング法には他にも、イオンビームエッチング・リアクティブ
(反応性)イオンエッチング、プラズマエッチングなどがあります。

エッチング装置の真空排気系ポンプのメンテナンスや
ハロゲンガス供給設備、耐腐食性ガス機器など
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今日の埼玉のお天気は?
 12月15日
 天気 はれ
 気温 6℃

です。
地球温暖化対策の「バリ・ロードマップ」が
採択され2009年までアメリカの参加を促す工程表
が数値目標なしで進められることになりました。
自国、他国の利害が絡み合うこととはいえ
「今」できることを、小さなことでも実践することが
とても大切であると思います。

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