シリコン単結晶
半導体の代表的なシリコンＩＣには、高純度の珪素（Si）
を多結晶体から単結晶へと溶融しながら仕上げます。
溶融炉の中に大量のアルゴンガスを流しながら単結晶を
育ててゆきます。主な目的は酸化防止ですが、アルゴンガ
スは他の元素と化学反応を起こさないため不活性ガスとして
大量に使用されるのです。
単結晶シリコンは最大３００ｍｍ以上の太さにまで大きく
した後、極々薄い板にカットしてゆきます。この薄板がシリコン
ウエハーで薄膜をのせて半導体を作りこんでいくベースになる
ものなのです。
このウエハーを高温で熱して表面に膜付けをします。ガスを
吹き込んで分解しながらウエハー上にまさに粉雪のように降り
積もらせ膜をのせてゆくのです。四塩化シリコンと水素がウエハ
ー上で高温分解しシリコンだけ降り積もります。残った塩素と水
素が塩酸ガスになり排出されていきます。
気体分子が固体の上に降り積もって膜が成長していくため
気相成長（エピタキシャル成長）と呼ばれています。
特殊ガス用レギュレーター、特殊ガス用マスフロコントローラー
特殊ガス配管、ガス供給設備など川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉のお天気は？
１１月２９日
天気 くもり
ボンベ庫の温度 昼８℃、夜9℃
です。
サクサクと音がするほど道端に落ち葉が
たくさん落ちているのを見て、ふとお菓子の
カールかハートチップルかチリ味のポテト
チップか？と見間違いそうに感じました。
お腹が空いているからなんでしょうね。