ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは高速回転体で作られたタービン翼と
固定された翼の組み合わせで構成されています。タービン
翼は回転の周速度ガス分子の運動速度とほぼ同じ領域で
傾斜したタービン翼で高真空側から低真空側にガス分子を
圧縮させます。
常温のガス分子の運動の速度はガス分子の種類によって
異なり、分子量の小さいものほど運動速度は大きいのです。
ですから水素やヘリウムなども排気できる排気速度と圧縮
比が得られるように設計されています。ゆえにターボ分子ポ
ンプは本質的にガスを圧縮する機械といえます。
タービン翼と固定翼の組み合わせで高真空側から低真空
側にガスをはじき飛ばしていきますが、結果的に圧力差が生
じます。この圧力比を圧縮比ともいいます。
ターボ分子ポンプは油拡散ポンプなどのようにガス分子を
大気側に放出するタイプです。タービン翼の回転数は1分間
あたり数万回転で、毎秒５０リットルの小型機種では９万回転
にも達するのです。
排気量 5000L/sec ! 大型TMP 大きな排気口ですね。
真空ポンプ（ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、ゲッターポンプ）
など高真空ポンプのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
１１月１３日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１２℃、昼１５℃
です。
中日のアジアチャンピオンになるまでの大躍進は
ペナントレースで優勝を逃し、力を落としていた状況
からはとても予想できませんでした。
２００７年がやっと終わって、落合監督ご苦労様でした。