メタルダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブは、弁ステムの代わりにメタルダイヤフラムを
変形させて弁締切りを行い、さらに弁密閉性を極限まで抑えた構造
のバルブです。
主な仕様は・・・
サイズ ： 1/8″ 〜 3/4″
使用温度 ： -10 〜 60 ℃
使用圧力 ： 1 MPa 以下（21MPa以下）
材質 ： ボディーSUS316L、ダイヤフラムNi合金
リークレート ： 3 x 10 -10 Pa・m3/sec（弁座）
3 x 10 -12 Pa・m3/sec（外部）
です。
超高純度仕様の最高グレード品は、接ガス部から高分子材料を
排除して究極のクリーンバルブとしており、反応性の高いガスや
高速な置換を必要とするアプリケーション、反応性の高い液体材料
の供給系用バルブとしても利用できます。
ほかPCTFEをバルブシートに使用しデッドボリュームを最小化した
ソフトシートタイプ（樹脂シート）や、アウトガス、シートクリープ問題を
低減したかしめシートタイプなどがあります。
ダイヤフラムバルブのご用命ご相談、またはマニホールド、Ｃ／Ｃ
特殊ガス配管など、川口駅かケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。