腐食系ガスの腐食性
腐食性を持つ半導体材料ガスなどは、一般的にゴム、グリース
類や潤滑油などを侵すものが多く存在します。Kel-F、石英ガラス
テフロン、ダイフロンなどは比較的影響を受け難いようです。
金属は水分が存在すると、アルミニウムは侵され易く、ステンレス
鋼、真鍮、その他モネル、ハステロイなどの特殊金属が侵され難い
とされています。
特殊ガスのアルシン、スチビン、テルル化水素、ゲルマンなどは
特に自触媒性が強く、分解性を示して金属被膜を形成すると急激に
分解します。配管や容器内面など材料の表面加工や面粗度を上げ
平滑面が必要です。
また、ハロゲン化物は加水分解する厄介者です。塩酸やフッ素を
生じると、白煙や刺激臭を発生します（フロン、六フッ化硫黄を除く）。
また、副生成物としてハロゲン酸により容器やバルブ、調整器、MFC
（マスフロコントローラー）など腐食原因となりますので、漏洩には充分
注意をしましょう。
特殊材料ガスのシリンダーキャビネット、マニホールドの任意の設計
製作、現場特殊ガス配管工事などお気軽にご相談下さい。
TEL 048-282-3665
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今日の埼玉県のお天気は？
９月２５日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、昼２７℃、夜２６℃です。
十五夜のお月見。
お団子が似合うと現代の常識かもしれませんが・・・
去る昔は、お団子など高価なものなので、里芋だったそうです。
真偽の程は、ご興味あればお調べいただくと面白いかもしれませんね。