Etching エッチング
レジストなどで作られたパターンを保護マスクにして、その
下にある SiO2 や Si3N4 、ポリシリコン、配線金属などに同じ
パターンを触刻する技術で、ドライエッチングではガスを利用し
化学反応させることで処理しています。
エッチング物質とエッチングガスの相関関係は、以下のとおり
です。
エッチング物質 エッチングガス
Si CF4,SF6,NF3,SiF4,BF3,XeF2,ClF3,SiCl4
PCl3,BCl3,Cl2,HCl,HBr,Br2,HI,I2
SiO CHF3,CF4+H2,C2F6,C3F8,c-C4F8
Al BCl3,SiCl4,Br2,BBr3,HBr
Si3N4 CF4,SiF4,NF3,C2F6,CHF3,c-C4F8
レジスト O2,CF4+O2
Mo CF4
MoSi2 SF&+O2
W CF4,SF6+O2,SF6+Cl2+O2
Ti CF4,O2,SF6+O2,Cl2+He
Ta CF4,O2,SF6+O2
Cr Cl2
a-Si CF4+O2,Cl2+SF6
SnO2 CH3OH,C2H5OH,Cl2+O2
GaAs CF4,BCl3+Cl2
特殊ガス供給系のガス設備、シリンダーキャビネット、マニホールド
現地特殊ガス配管工事などお気軽にご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
９月２６日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 夜２５℃
です。
厚木の郊外にある田圃。
コンバイン（耕作機械）で実った稲穂の刈り取り作業
が進められていました。刈り取られて残った藁は束ね
られ、ピョンピョンと装置後部から次々飛び出す様は、
一種異様でした。
いまの農業は機械で成されていると再確認しました。