チャンバーベーキング
昨日までの真空チャンバー内面処理の項でご説明して
参りました通り、その表面からの脱ガスの作用により真空
中に飛散するガスが真空度に大きな影響を与えます。
たとえば真空チャンバーの材料で最も多く利用されている
ステンレス製からはどのようなガスが出てくるのでしょうか？
排気してすぐの状態では、大気組成に近いガス成分が放出
してきます。その後、水分（Ｈ２Ｏ）が多量に出てきます。さらに
ＣＯ、Ｏ２、Ｎ２、ＣＯ２、ＣＨ４などといったガスが徐々に排気され
てまいります。一般的に超高真空仕様の装置などの場合、真空
チャンバー自身を加熱して脱ガスを促進させる「ベーキング処理」
を行います。当然のことながら常温で排気している状態から加熱
したと途端に大量のガスが放出されチャンバー内の真空度が一気
に低下します。当然のことながら内面処理の方法によって脱ガス
する早さや量などは変化します。約一日程度ベーキングをしながら
真空排気を続けると脱ガス作用はだいぶ落ち着いてきます。更に
続けていきますと、最後に残るのはほとんどが水素ガスということに
なります。
真空装置、真空チャンバーのご検討、ご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にどうぞ。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
８月５日
天気 はれ
気温 ２７℃
です。
夕方、たくさんの蝉の声にまぎれてまだ慣れていない
蜩の鳴き声聞こえてきました。
日本の夏を象徴する風物詩のひとつですね。
昔から、この鳴き声を聞くと心が落ち着く感じがします。