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リークの有無

リークを検査したいのですが?

 そのようなご質問を頂戴することがあります。
まず基本的なことですが、真空容器なのか
加圧容器なのかによって対応が異なります。
また、真空容器の場合でもそのリークの大きさに
より検出用法も異なります。

 一般的に真空チャンバーを排気してなかなか真空が出ない
場合の値が 10-1 Pa あたりでもたもたしているとリークの
可能性が大きいです。そのような場合、真空チャンバーを排気
しているメインバルブを閉じて、チャンバー内の真空の値がどの
ような挙動を示すか観察すると判断できます。

 10-3 Pa 以下の圧力ですと四重極質量分析計を利用してリーク
の有無を判定できます。残留ガススペクトルで空気成分のN+(14,28)
O2+(32)が多いときはリークの可能性が大きいです。CH+(14)やCO+
(28) は通常の残留ガスですが、異常に多い場合にはN+である可能性
が高いです。
 ただし、排気システムのリークがなく、また正常なスペクトルを良く
知らないと何がおかしいのか判断が付きません。酸素や窒素に注目
して判断する以外にもアルゴンガスの挙動もひとつの目安です。
また、10-8 Pa のリークでは、酸素窒素のスペクトルが見られなくても
リークがある可能性があります。

このためにも、りーくのない場合の残留ガススペクトルを知っておくことは
大切です。

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 8月3日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝29℃、昼33℃、夜32℃

です。
首都高速、外環自動車道の渋滞が激しい一日でしたね。
時間を気にした仕事をしている人には難しい状況でした。

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