リークの有無
リークを検査したいのですが？
そのようなご質問を頂戴することがあります。
まず基本的なことですが、真空容器なのか
加圧容器なのかによって対応が異なります。
また、真空容器の場合でもそのリークの大きさに
より検出用法も異なります。
一般的に真空チャンバーを排気してなかなか真空が出ない
場合の値が １０-1 Pa あたりでもたもたしているとリークの
可能性が大きいです。そのような場合、真空チャンバーを排気
しているメインバルブを閉じて、チャンバー内の真空の値がどの
ような挙動を示すか観察すると判断できます。
１０-3 Pa 以下の圧力ですと四重極質量分析計を利用してリーク
の有無を判定できます。残留ガススペクトルで空気成分のＮ+(14,28)
Ｏ2+(32)が多いときはリークの可能性が大きいです。CH+(14)やＣＯ+
(28) は通常の残留ガスですが、異常に多い場合にはＮ+である可能性
が高いです。
ただし、排気システムのリークがなく、また正常なスペクトルを良く
知らないと何がおかしいのか判断が付きません。酸素や窒素に注目
して判断する以外にもアルゴンガスの挙動もひとつの目安です。
また、１０-8 Pa のリークでは、酸素窒素のスペクトルが見られなくても
リークがある可能性があります。
このためにも、りーくのない場合の残留ガススペクトルを知っておくことは
大切です。
ヘリウムリークディテクターに関するご質問ご検討など
川口液化ケミカル株式会社にお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
８月３日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２９℃、昼３３℃、夜３２℃
です。
首都高速、外環自動車道の渋滞が激しい一日でしたね。
時間を気にした仕事をしている人には難しい状況でした。