真空の漏れ検査（リークテスト）
真空容器（チャンバー）などの漏れを測定する方法は
数種類ありますのでご紹介いたします。
・真空装置法
被試験物内部 ： 真空
被試験物外部 ： 大気圧
検出原理 ： 圧力上昇
プローブ ： −
検知可能流量 ： １０-6 〜 １０-8 Pa･m3/sec
※ビルドアップ法とも言います。
・加圧発泡法
被試験物内部 ： 加圧
被試験物外部 ： 大気圧
検出原理 ： 気泡
プローブ ： 加圧大気（石鹸水）
検知可能流量 ： １０-2 〜 １０-3 Pa･m3/sec
※リーク検知液を塗布する検知剤商品もあります。
・水中発泡法
被試験物内部 ： 加圧
被試験物外部 ： 大気圧
検出原理 ： 水槽中に発生する気泡
プローブ ： 大気加圧
検知可能流量 ： １０-4 〜 １０-5 Pa･m3/sec
※水槽の液体に石鹸水を使用すると感度が上がります。
・ハロゲンリークディテクター法
被試験物内部 ： 真空
被試験物外部 ： 大気圧または加圧
検出原理 ： ハロゲンガスの電離
プローブ ： ハロゲンガス
検知可能流量 ： １０-5 〜 １０-9 Pa･m3/sec
※測定機器があります。スニファー法によるものです。
・ヘリウムリークテスト法
被試験物内部 ： 真空
被試験物外部 ： 大気圧または加圧
検出原理 ： 質量分析によるヘリウム検知
プローブ ： ヘリウムガス
検知可能流量 ： １０-11 〜 １０-13 Pa･m3/sec
※外覆法、吹き付け法など。
・真空計法
被試験物内部 ： 真空
被試験物外部 ： 大気圧
検出原理 ： 大気とプローブガスの感度差
プローブ ： アルコール、ヘリウム、ブタンガスなど
検知可能流量 ： １０-1 〜 １０-9 Pa･m3/sec
※ピラニ真空計、電離真空計などを使用します。
・残留ガス分析法
被試験物内部 ： 真空
被試験物外部 ： 大気圧
検出原理 ： プローブ物質のピーク検知
プローブ ： アルコール、ヘリウムガスなど
検知可能流量 ： １０-10 Pa･m3/sec
※残留ｶﾞｽ分析計（Ｑマス）を使用しての検出方法です。
・イオンポンプ法
被試験物内部 ： 真空
被試験物外部 ： 大気圧
検出原理 ： イオンポンプの放電電流の変化計測
プローブ ： ヘリウムガス
検知可能流量 ： １０-3 〜 １０-9 Pa･m3/sec
※スパッタイオンポンプを使用します。
・ガイスラー管法
被試験物内部 ： 真空
被試験物外部 ： 大気圧または加圧
検出原理 ： 放電色の変化
プローブ ： ヘリウムガスやアルコールなど
検知可能流量 ： １０-2 Pa･m3/sec
※積分法で見ることも出来ます。有機色は青色で
赤紫は空気です。
・カラーチェック 被試験物内部 ： 大気圧
被試験物外部 ： 大気圧
検出原理 ： 赤浸透液、白現像液の吹き付け
プローブ ： −
検知可能流量 ： １０-5 Pa･m3/sec
※カラーチェック液など商品があります。穴の詰まり現象
に注意が必要です。
・フロンポンピング法
被試験物内部 ： 大気圧
被試験物外部 ： 大気圧・加圧
検出原理 ： フロンＦＣ７８液のＦＣ４３液中での気化と発泡
プローブ ： フロン液
検知可能流量 ： １０-6 Pa･m3/sec
※ポンピングおよび加熱装置が必要です。
それぞれ一長一短で、また、対象物から脱ガスする成分や
リーク検査を行う目的などにより上記以外の方法も検討する
必要があります。
リーク検査のことなら、川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
８月１日
天気 晴れ
ボンベ庫の温度 朝２５℃、昼３０℃、夜３０℃
です。
８月は葉月（はづき）と呼びます。
木の葉が紅葉して落ちる月とか、稲の穂が張る月とか
雁が初めて来る月の意や南方からの台風が多く来る月
の意などあるようです。