流量単位の換算値
気体の流量は、温度や圧力によってその体積が大きく変化
します。どの状態のときの流量なのか明らかにしておかないと
誤解や混乱を招くことになります。
普通、室温で使用しているとその温度変化を気にしないこと
もあろうかとおもいますが、温度が１℃変化しますと体積が約
０．３％変化するとされ、曇りと晴天では、大気圧が１ｋＰａ以上
変化するからそのときの体積は１％も変化することになります。
正確な流量を測定するためには、必ず条件を整えておく必要
があり、例えば、１気圧０℃とか１気圧２０℃とか定義する必要
があります。
標準状態と呼ばれる定義は、その業界によって異なりますので
その都度確認することも必要です。例えば、ＳＥＭＩスタンダートと
呼ばれ半導体業界で利用されているＭＦＣ（マスフロコントローラー）
などの場合、ＳＣＣＭ（スタンダード：０℃／１ａｔｍ、ｃｃ／ｍｉｎ）です。
ＳＩ表示単位系では使用できないためPa･m3/sec など換算値に
変換する必要があります。
換算値例
１ sccm（非SI単位系） ＝ １．６９ x １０ -3 Pa･m3/sec（SI単位系）
＝ １．２７ x １０ -2 Torr･L/sec（非SI単位系）
＝ １．６９ x １０ -2 mbar･L/sec（非SI単位系）
＝ １．６７ x １０ -2 atm･cm3/sec（非SI単位系）
※2018.03.02記述に誤り在り修正済
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今日の埼玉のお天気は？
７月１５日
天気 雨のちくもり
気温 ２４℃
です。
マリナーズ城島選手が満塁ホームランです！
すっかり定着しましたが、日本人選手の活躍が
あたりまえになったのは、礎になった野茂選手
があってこそ。
今、結果が出ているのは、かつて布石が打たれ
たからこそ。
野茂選手、今を楽しませてくれてありがとう！