許容リーク量
真空装置や製品の漏れ検査を行うのに「リーク量」と
呼ばれる漏れ量で管理しています。
以下に各装置、各アプリケーションでの許容リーク量を
お知らせいたします。
簡単な減圧装置、ろ過装置、真空成型装置
１０ 〜 10 2 Pa･m3/s
減圧乾燥装置、含侵装置、真空輸送装置
１ 〜 １０ Pa･m3/s
減圧蒸留装置、真空脱気装置、真空濃縮装置
１０ -2 〜１０ -1 Pa･m3/s
分子蒸留装置、冷凍乾燥装置
１０ -4 〜 １０ -3 Pa･m3/s
真空冶金装置、簡単な蒸着装置、スパッタ装置
１０ -7 〜 １０ -6 Pa･m3/s
加速器、高級な薄膜作成装置
１０ -9 〜 １０ -8 Pa･m3/s
大型の超高真空装置、表面分析研究装置
１０ -11 〜 １０ -9 Pa･m3/s
小型の超高真空装置
１０ -12 〜 １０ -11 Pa･m3/s
封じ切りの電子管
１０ -13 Pa･m3/s 以下
値を定めても、実務上では漏れを止める作業や
実際の漏れている箇所、部位を特定することが
とても骨の折れる作業です。
真空漏れの検査や検査冶具、検査装置の
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
７月１日
天気 曇りのち晴れ
気温 ２４℃
です。
昨日は、ひと月に二度の満月になる
「ブルームーン」だったそうです。
数多くあることでない自然現象を、神秘的な
表現で表している、とても人間的な言葉ですね。