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ドライエッチング装置 Part2

 ドライエッチング装置は、ガスを導入して反応を開始する
前後でメインチャンバーやプリパレーションチャンバーを高
真空まで真空排気する必要がありますので、油拡散ポンプ
・クライオポンプ・ターボ分子ポンプなど高真空ポンプを使用
することとなります。
 かたや装置の排気系で低真空ポンプ側には反応性生物や
活性なガスが直接回ってきます。油回転ポンプなどの場合
鉱物油オイルはあっという間に変質してしまいます。フッ素系
オイルのフォンブリンオイル仕様にすることも対策の一つですが
オイルフィルトレーションを利用してオイルの中の異物を取り除
いたり、活性アルミナなどで酸化したオイルを中性化したりする
ことでポンプの寿命やオイルの劣化を防ぐことも可能です。

油回転ポンプのオイル漏れ、到達真空度の劣化、故障など
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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 7月14日
 天気 雨
 気温 21℃

です。
台風4号の九州上陸時の中心気圧は945ヘクトパスカルで
7月に上陸した台風としては1951年の観測開始以来最も
低く、過去最強級なのだそうです。
土曜、日曜と屋外に遊びにいけず
子供たちは親とゆっくり話ができる
良い機会になるかもしれませんね。

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