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ドライエッチング用塩素ガス Cl2

 マグネトロンRIE装置など溶液を使用しないでイオン
やプラズマなどでエッチングするのが「ドライエッチング」
です。この装置に前述の塩素ガスが利用されます。

 配線材料などに使用されるAlはCl2分子やCL原子
と自発的に反応し、表面の自然酸化膜がイオン衝撃
によって除かれた後、エッチング作用で等方的に進み
アンダカットを生じさせます。そのため、堆積膜を生じる
ガスの添加やレジスト分解物などで厚い側壁保護膜を
形成して方向性のエッチングを達成しているようです。
CHCL3(クロロホルム)などを添加しより堆積量を調整
するそうです。

 塩素ガスの供給設備には、温度と蒸気圧との関係から
供給配管をヒーターで加熱しながら装置チャンバーまで
導く必要がある場合もあります。

塩素ガス供給設備や特殊ガス配管工事など
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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 7月5日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝22℃、昼27℃、夜26℃

です。
昨日の雨が上がって、夏の日差しが戻った天気の良い一日でした。
直射日光はギラギラしていたものの、風が適度に吹いていて
不思議と清々しい気持ちのいい初夏を感じさせる快晴でしたね。

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