ドライエッチング用塩素ガス Cl2
マグネトロンＲＩＥ装置など溶液を使用しないでイオン
やプラズマなどでエッチングするのが「ドライエッチング」
です。この装置に前述の塩素ガスが利用されます。
配線材料などに使用されるＡｌはCl2分子やCL原子
と自発的に反応し、表面の自然酸化膜がイオン衝撃
によって除かれた後、エッチング作用で等方的に進み
アンダカットを生じさせます。そのため、堆積膜を生じる
ガスの添加やレジスト分解物などで厚い側壁保護膜を
形成して方向性のエッチングを達成しているようです。
CHCL3（クロロホルム）などを添加しより堆積量を調整
するそうです。
塩素ガスの供給設備には、温度と蒸気圧との関係から
供給配管をヒーターで加熱しながら装置チャンバーまで
導く必要がある場合もあります。
塩素ガス供給設備や特殊ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
７月５日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２２℃、昼２７℃、夜２６℃
です。
昨日の雨が上がって、夏の日差しが戻った天気の良い一日でした。
直射日光はギラギラしていたものの、風が適度に吹いていて
不思議と清々しい気持ちのいい初夏を感じさせる快晴でしたね。