トラブルシューティング 真空編
「さっきまで何の異常も無く動いてたターボ分子ポンプが
一度メンテナンスで停止させた後、正常に起動しなくなりました。
何故でしょう？」
作業現場でそのようなことが実際ありました。
環境は・・・
・まったく同じ真空排気システム４セットのうち１セットだけ再起動しない。
・吸気している雰囲気は、空気でほぼ腐食系や反応性の汚れはなし。
・ＴＭＰ停止の際、大気突入した可能性はなし。
・機器購入約１年で、起動停止はほぼ無く連続運転で使用していた。
・電源、入出力制御機器は、正常に起動した排気セットと交換しクロス
チェックしたが問題なし。
・真空排気セットの吸引側がチャンバー側（負荷側）より高真空で引かれて
いることは無く、吸気メインバルブを閉じ補助ポンプから起動している。
・ＴＭＰはフィンがローテーションスタートするが、定常運転１００００Ｈｚに
到達する遥か前の４０Ｈｚで頭打ちになってしまう。
・ＴＭＰコントローラーの、定常運転８０％運転に１５分以内に起動できず
インターロックでエラーメッセージが出てしまう。
・ＴＭＰコントローラーの自己診断機能、過去１０回のエラー履歴には
なにも問題と思われる記録は無し。
大前提の、電源コード、信号コード、配線間違いなど無いことを確認。
何故だ何故だ？
ＴＭＰ本体の故障と見て、メーカーサービスに現品確認を
してもらうしかない。そんな時、一点の基礎的な確認を
してみました。
ちゃんとＴＭＰを補助ポンプ（このときはＲＰ）で吸引しているか？
本来、真空であるはずのＲＰ直上のカットオフバルブＴＭＰ側
クイッククランプを外してみると・・・
大気でセンターリングＯリングが、ポロリと脱落。
結論：カットオフバルブの動作が不良でＴＭＰを補助引きして
いませんでした。そのためＴＭＰは補助圧不足で起動で
きませんでした。
ＴＭＰメーカーサービスさんの説明でＴＭＰは補助引きなし
でも起動可能な機種であり、その場合の周波数が８０〜１００Ｈｚ
であると聞いてＲＰが補助引きされていないとは思いませんでした。
動かない原因を、動かない機器自体に求めがちですが
外部要因、常識的な確認要素を改めてチックすることが
トラブル時の原則であると勉強しました。
真空排気セットのご相談、ＴＭＰ、ＣＲＹＯ、ＤＲＹ、ＲＰなど
各種真空ポンプご購入の機種選定など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願いいたします。
今日の埼玉のお天気は？
６月９日
天気 曇りのち雨
気温 ２１℃
です。
本日、夜に突如、突き上げるような揺れを感じるような
地震がありました。
そのとき、電話をしていた人間やテレビを見ていた者は
まったく気づいていませんでした。
逆に地震を肌で感じた者は、揺れが突き上げで大きく
感じたので、また来ないか心配していました。
認知したかどうかで、物事の見方、受け止め方は
まったく異なるものですね。
ともかく、大事が無いからこそ言えることです。