スクリュー式ドライポンプ
スクリュー式ドライポンプ
ドライポンプには、数種類のタイプがあります。
・ルーツ式
・クロー式
・ダイアフラム式
・スクリュー式
・サイドチャンネル式
・ベーン式
・ドライロータリーベーン式
などなど。
ＴＭＰやクライオなどの補助ポンプとしてＲＰ（ロータリーポンプ）の
代替機としてスクロール式やスクリュー式などが多用されています。
それぞれ特徴はあります。
その中のスクリュー式ドライポンプのご紹介です。
このタイプは、平行する２つのスクリューローターがケーシングの内壁
とスクリューローターすれぞれの僅かなクリアランス（隙間）を回転しながら
ドライな密閉された空間を連続的に排気します。ローター形状には、炬式
スパイラキシャル式、リショルム式などがあります。
スクリュー式では、排気から吸気まで非接触状態で単段圧縮されて
いますので、凝縮性ガスやパウダー状の雰囲気でも効率よく排気する
ことが出来ます。雰囲気も大気圧から数Ｐａの到達真空度まで広範囲で
使用可能です。ただし、内部温度が上昇しすぎるような吸気ガスの場合
には制約を受けますので都度確認してください。
用途としては、半導体ＦＰＤ製造プロセス装置や真空蒸着、真空乾燥
溶剤回収、樹脂脱泡、真空成形、真空炉などに使用されております。
スクリュー式ドライポンプに関するお問い合わせは
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉川口のお天気は？
2007年1月3日
天気 くもり
気温 ９℃
です。
お正月三箇日目です。
御餅を食べすぎ太り気味？です。
人生の格言
人間の哀しさとは？
「人間とは何か。
愚かな赤ん坊よ、空しくもがき、戦い、焦慮し
全てを要求し、何ものも受ける価値が無く
小さな墓場が一つ彼の得る全てである。」
（カーライル）