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スクリュー式ドライポンプ

スクリュー式ドライポンプ

ドライポンプには、数種類のタイプがあります。
・ルーツ式
・クロー式
・ダイアフラム式
・スクリュー式
・サイドチャンネル式
・ベーン式
・ドライロータリーベーン式
などなど。

 TMPやクライオなどの補助ポンプとしてRP(ロータリーポンプ)の
代替機としてスクロール式やスクリュー式などが多用されています。
それぞれ特徴はあります。

その中のスクリュー式ドライポンプのご紹介です。
 このタイプは、平行する2つのスクリューローターがケーシングの内壁
とスクリューローターすれぞれの僅かなクリアランス(隙間)を回転しながら
ドライな密閉された空間を連続的に排気します。ローター形状には、炬式
スパイラキシャル式、リショルム式などがあります。
 スクリュー式では、排気から吸気まで非接触状態で単段圧縮されて
いますので、凝縮性ガスやパウダー状の雰囲気でも効率よく排気する
ことが出来ます。雰囲気も大気圧から数Paの到達真空度まで広範囲で
使用可能です。ただし、内部温度が上昇しすぎるような吸気ガスの場合
には制約を受けますので都度確認してください。
 用途としては、半導体FPD製造プロセス装置や真空蒸着、真空乾燥
溶剤回収、樹脂脱泡、真空成形、真空炉などに使用されております。

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今日の埼玉川口のお天気は?
 2007年1月3日
 天気 くもり
 気温 9℃

です。

お正月三箇日目です。
御餅を食べすぎ太り気味?です。

人生の格言
人間の哀しさとは?
「人間とは何か。
 愚かな赤ん坊よ、空しくもがき、戦い、焦慮し
 全てを要求し、何ものも受ける価値が無く
 小さな墓場が一つ彼の得る全てである。」
(カーライル)

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