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オイル漏れ

真空ポンプの代表格である「ロータリーポンプ」は
その構造上駆動部が劣化し、オイル漏れを起こします。
使用頻度にもよりますが、数年するとオイルの劣化とともに
真空を作るためにポンプ内壁に押し付けられているベーン
といわれる消耗部品がこすれてくると、真空度、排気スピード
などに影響が現れます。
そしてケーシングシール部分が劣化すると、ポンプからオイル
漏れが起こり床が油でベタベタになる症状現れるのです。

この写真は、アルカテル製2020AC型のオイル漏れした内部の様子です。
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次の写真は、ライボルト製EDM6型のオイル漏れ状態です。
ねずみ色にオイルが汚れているところから、かなり磨耗部品が
擦れるなりして褐色のオイルがここまでの色になったと思われます。
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最後に、エドワーズ製E2M40型ポンプの症状です。
見た目、かなりヤバソウです!
(エイリアンが出てきそうです・・・。)
かなりケミカルアタックの強いガスなり反応性の強い材料を
吸引しているポンプのようです。
このオイルの色も、ポンプの故障がダメージ大きいことが
容易に想像できます。
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修理部品をメーカーが供給していただけるだいたいの機種
メーカー品は、オイル漏れ、オーバーホール対応いたします。
(例:アルカテル、エドワーズ、ライボルト、大亜、島津、アルバックなどなど)

オーバーホールの詳細説明は、以下のページをご参照ください。
http://www.klchem.co.jp/vacuum/vac_6_3.php

ロータリーポンプオイル漏れの修理・オーバーホールは
川口液化ケミカル株式会社までお問い合わせください。
油まみれのポンプを引き取り、修理して性能試験表と伴に
納品いたします。
(クリーンルームなどでも可能です)

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よろしくお願い致します。
ありがとうございます。

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「山に近ければ山を食い
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幸福への近道といった意味でしょうか。

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