真空計の構造 Part１１
クリスタル真空計をご存知でしょうか？
音叉形の水晶振動子の共振状態における
交流インピーダンスが圧力に応じて変化するという
現象を利用している真空計です。
電極は、Au・Crが利用されています。
英文名：Crystal gauge (Viscosity gauge)
ピラニゲージと比較して、大気圧から １０ -2Pa までの
広範囲な測定が可能です。また、その値は直線的に
測定されます。熱伝導真空計のような発熱部（熱源）を
持たないので真空排気系との影響が少ないので、大気圧
近辺の真空度で対流などの影響を受けにくい構造です。
更には、再現性に優れ、温度変化やガス（気体）の流れに
対しても安定しています。
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どうぞご相談ください。
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人生の格言
運命を切り開く言葉とは？
「われわれの運命は、前進することにある。
それぞれの社会においては、その一つ上のものへと
進歩せずにはおかない。」
（フーリエ）