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真空計の構造 Part11

クリスタル真空計をご存知でしょうか?

音叉形の水晶振動子の共振状態における
交流インピーダンスが圧力に応じて変化するという
現象を利用している真空計です。
電極は、Au・Crが利用されています。
英文名:Crystal gauge (Viscosity gauge)

ピラニゲージと比較して、大気圧から 10 -2Pa までの
広範囲な測定が可能です。また、その値は直線的に
測定されます。熱伝導真空計のような発熱部(熱源)を
持たないので真空排気系との影響が少ないので、大気圧
近辺の真空度で対流などの影響を受けにくい構造です。
更には、再現性に優れ、温度変化やガス(気体)の流れに
対しても安定しています。

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「われわれの運命は、前進することにある。
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