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真空計の構造 Part10

真空計のご紹介も10種類目です。
本日は、「スピニングローター真空計」です。

スピニングローター真空計
またの名を、粘性真空計といいます。
英文名 Spinning Rotor Garuge(Viscosity gauge)

真空計測するチャンバーに接続するフランジ中心部から
直線方向に空間があり、その周りを水平位置コイル
磁化ベクトル検出コイル、駆動コイル、垂直位置補正コイル
などに囲まれており、鋼製ローターが回転します。
この回転体が気体中で粘性抵抗による回転減衰を測るものです。
鋼管パイプ内の鋼球を磁気浮上させ高速回転して、停止させ
回転数の減衰時間から圧力を求めるのです。

鋼球の表面状態が安定であれば、基本物理量の測定から
圧力を決定できる真空計ですので、真空二次標準器としても
利用されているようです。
ただし、いいことづくめでもなく、温度、振動には弱く、価格も
割高なため通常の真空計としての利用は一般的には難しいようです。

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よろしくお願いいたします。
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