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取り扱い上の注意

 ガスの性状により、ガス供給系のパージラインなどが
同一系統である場合大事故に繋がることがあります。

過去に半導体製造装置(CVD)を使用しての実験中に
モノシラン容器が爆発して、火災も発生する事故が起こり
ました。

この場合、シリンダーキャビネット内の亜酸化窒素が逆止弁
の機能欠陥を起し、窒素ガスパージラインを通ってシランガス
容器内に逆流を起し、これによりシランガス容器内で爆発混合
気が形成され爆発したことが判明したのです。

互いに反応するガスのパージラインは、それぞれ別系統とし
システムの設計、製作時には安全弁などの安全装置の差動
確認を怠らないことが必至です。

高圧ガスに関するご質問は川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。
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よろしくお願い致します。
ありがとうございます。

今日の格言
女性にとっての人生観とは?

「母体としての社会的な地位を確立することこそが
 真のウーマン・リベーション達成への第一歩である。」
(D・フュージョン)

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