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機能性薄膜の材料

 金属、磁性体、誘電体、半導体、絶縁体などといった
機能材料を薄膜で利用する用途はさまざまです。

電子部品から光学部品、機械材料から異なる種類の
材料を積み重ねて、高付加価値の機能性薄膜にも
なりうるものです。

・抵抗薄膜
 Ta,Ta-N,Ta-Si,Ni-Cr,Ta-Al,Ta-Cr,Si-Al,Fe,Si

・磁性薄膜
 Fe3O4,Co-Cr,γ-Fe2O3,Gd-Fe,Gd-Co,Fe-B,YIG
 Fe-Si-Al,Ni,Fe-mO,Mn,Zn,Ni-Zn

・圧電体、焦電体、強誘電体
 ZnO,AlN,Bl12GeO20,K3Li2Nb5O15,LiNbO3,PbTiO3
 PZT,PZLT

・サーマルヘッド
 Ta2N,Ta,Si,Ni-Cr,SiO2,Ta2O5,SiC,Al2O3

・透明電極
 In203,SnO2,ITO

・エレクトロルミネッセンス(EL)
 ZnS,TbF3,ZnS,Mn,Ta2O5,Y2O3,PbTiO3,PbTiO3

・サーミスタ
 TaN,SiC

・太陽電池
 α-Si,α-Si(1-m),Cm

・無反射、選択透過膜
 In2O3,SnO2,ITO,Ta2O5

・選択吸収膜
 Pt-Al2O3/Al2O3,Al2O3/Pt-Al2O3/Al2O3

・熱反射膜
 Au,Ag,Cu,ITO,Bi2O3,TiO2

・光導波路
 LiNbO3,ZnO,Ta2O5,TiO2,カルコゲナイド

・潤滑、耐磨耗、耐腐食、耐熱
 MOS2,PbO,Au,AgPb,Cr,Pt,Ta,Ta2O5,SiC,Ti/TiN
 TiC,Al2O3,Cr,Ta,W,AlN,BeO

薄膜にもこれだけの用途の種類、元素、化合物が
あります。

ガス・ガス機器・真空機器・真空配管まで
どうぞご相談ください。
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今日の格言
男として生まれた、その人生観とは?
「「よし!」というためには、汗を流し、袖をまくりあげて
 人生を両腕にしっかり抱え込まなければならない。
 死に直面しているときでさえ、「いや」ということは易し
 いのだ。動かずにただ待っていればよいのだからね。
 生きるために待っている、かと思うと殺されるために
 待っている。意気地がなさすぎるよ。人間の発明した
 ことだ。お前、樹木が樹液に向かって「いや」といったり
 そんな世界でも夢見ているのかい?ケモノたちをごらん
 みんな善良で、単純で、我慢強い。同じ道を互いに押し
 合い圧し合いしながら勇敢に進んでゆく。
  倒れれば次の連中が乗り越えていく。安心して死んで
 行けるというものだ。どの種族も必ず子孫を残し、同じ道を
 同じ勇気をもって進んでいく、先にいったものと全く同じよ
 うにあとに続くのだ。」
(アヌイ)

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