機能性薄膜の材料
金属、磁性体、誘電体、半導体、絶縁体などといった
機能材料を薄膜で利用する用途はさまざまです。
電子部品から光学部品、機械材料から異なる種類の
材料を積み重ねて、高付加価値の機能性薄膜にも
なりうるものです。
・抵抗薄膜
Ta,Ta-N,Ta-Si,Ni-Cr,Ta-Al,Ta-Cr,Si-Al,Fe,Si
・磁性薄膜
Fe3O4,Co-Cr,γ-Fe2O3,Gd-Fe,Gd-Co,Fe-B,YIG
Fe-Si-Al,Ni,Fe-mO,Mn,Zn,Ni-Zn
・圧電体、焦電体、強誘電体
ZnO,AlN,Bl12GeO20,K3Li2Nb5O15,LiNbO3,PbTiO3
PZT,PZLT
・サーマルヘッド
Ta2N,Ta,Si,Ni-Cr,SiO2,Ta2O5,SiC,Al2O3
・透明電極
In203,SnO2,ITO
・エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）
ZnS,TbF3,ZnS,Mn,Ta2O5,Y2O3,PbTiO3,PbTiO3
・サーミスタ
TaN,SiC
・太陽電池
α-Si,α-Si(1-m),Cm
・無反射、選択透過膜
In2O3,SnO2,ITO,Ta2O5
・選択吸収膜
Pt-Al2O3/Al2O3,Al2O3/Pt-Al2O3/Al2O3
・熱反射膜
Au,Ag,Cu,ITO,Bi2O3,TiO2
・光導波路
LiNbO3,ZnO,Ta2O5,TiO2,カルコゲナイド
・潤滑、耐磨耗、耐腐食、耐熱
MOS2,PbO,Au,AgPb,Cr,Pt,Ta,Ta2O5,SiC,Ti/TiN
TiC,Al2O3,Cr,Ta,W,AlN,BeO
薄膜にもこれだけの用途の種類、元素、化合物が
あります。
ガス・ガス機器・真空機器・真空配管まで
どうぞご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の格言
男として生まれた、その人生観とは？
「「よし！」というためには、汗を流し、袖をまくりあげて
人生を両腕にしっかり抱え込まなければならない。
死に直面しているときでさえ、「いや」ということは易し
いのだ。動かずにただ待っていればよいのだからね。
生きるために待っている、かと思うと殺されるために
待っている。意気地がなさすぎるよ。人間の発明した
ことだ。お前、樹木が樹液に向かって「いや」といったり
そんな世界でも夢見ているのかい？ケモノたちをごらん
みんな善良で、単純で、我慢強い。同じ道を互いに押し
合い圧し合いしながら勇敢に進んでゆく。
倒れれば次の連中が乗り越えていく。安心して死んで
行けるというものだ。どの種族も必ず子孫を残し、同じ道を
同じ勇気をもって進んでいく、先にいったものと全く同じよ
うにあとに続くのだ。」
（アヌイ）