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真空計の構造 Part4

エキストラクタ真空計

この真空計も、昨日の熱陰極電離真空計の一種です。
英文名:Extractor gauge(Hot cathode ionization gauge)

シールドに囲まれた集イオン電極を、円筒状のグリッド軸に沿って
更にその外側に置き、グリッドからの軟X線の影響を低下させることで
測定範囲を究極の2 x 10 -10Pa まであげた超高真空用真空計の
王様です。

実際には、電極構造が複雑なために電極自体からの放出ガスや
その他の要因などクリアーした上でないと数値にバラつきが出るため
扱い難いゲージでもあります。

極高真空チャンバーや極高真空のコンポーネント、真空計など
ご相談ございましたら、よろしくお願いいたします。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665

よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。

今日の格言
女性にとっての人生観とは?

「女性は意識して母になるかならないかを決めるように
 ならなければ、ほんとうに自由とはいえない。」
(M・サンガー)

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