真空計の構造 Part４
エキストラクタ真空計
この真空計も、昨日の熱陰極電離真空計の一種です。
英文名：Extractor gauge(Hot cathode ionization gauge)
シールドに囲まれた集イオン電極を、円筒状のグリッド軸に沿って
更にその外側に置き、グリッドからの軟X線の影響を低下させることで
測定範囲を究極の2 x １０ -10Pa まであげた超高真空用真空計の
王様です。
実際には、電極構造が複雑なために電極自体からの放出ガスや
その他の要因などクリアーした上でないと数値にバラつきが出るため
扱い難いゲージでもあります。
極高真空チャンバーや極高真空のコンポーネント、真空計など
ご相談ございましたら、よろしくお願いいたします。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「女性は意識して母になるかならないかを決めるように
ならなければ、ほんとうに自由とはいえない。」
（Ｍ・サンガー）