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真空ゲージの構造 Part2

本日は、高真空領域で多く使用されている
ペニング真空計のご紹介です。

ペニング真空計は、別名冷陰極電離真空計と呼ばれ
コールドカソードゲージとも呼ばれています。
Penning gauge (Cold cathoude ionization gauge)

熱陰極型の熱フィラメントより熱電子に代わって、冷陰極
放電による電子を利用することでフィラメントが焼損しない
構造になっています。基本構造は電離真空計です。
陰極で発生した電子を磁界の作用でラセン運動させて
電子の軌道を長く取りイオン化率を高めています。

ガス種によって感度が変化しますし、ポンプ作用も大きな
ものです。熱陰極型と比較すると直線性や再現性が若干
劣ります。その分電気回路が簡単なためセンサーヘッドが
堅牢で長寿命なことがメリットです。一般産業用途では、真空
度の値に細かな精度を求めないアプリケーションで多く利用
されております。

ペニング真空計のほか、真空計のご用命、機種選定など
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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(エッシェンバッハ)

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