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真空成膜法 真空蒸着

眼鏡のコーティングや鍍金に変わる強固な膜付け。

真空蒸着は、とてもポピュラーな成膜方法です。

光学系の偏光レンズなど光学フィルター、光学薄膜
など反射率、透過率、位相変化、光学モニター光量変化
レーザー誘導損傷計算など駆使しオプトエレクトロニクス
業界でも進化を続けています。

真空チャンバーの中で加熱用フィラメントにより蒸着物質が
加熱され蒸着源として基板(ターゲット)に蒸着されます。
一般的には 3×10 -2 〜 10 -4 Pa 程度の圧力で成膜されます。
このときの蒸着源と基板との平均自由行程は、数10cm から
数10m 程度とされており、蒸発した薄膜材料は、蒸着源から
基板まで一直線にほとんど衝突することなく到達します。

そうは言っても、光学系等の世界では、成膜装置の方式や蒸着
材料、成膜パラメーターなどにより薄膜の屈折率や消衰係数が
変化するなど、真空中の誘電率、金属薄膜の光学定数など明確
に定めて、目的とする蒸着膜を作ることは職人技です。

実験用高真空蒸着装置など実績ある職人が、設計、製作まで
ご相談に応じます。新規装置のご検討や改造など、どうぞご相談ください。
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ありがとうございます。

今日の格言
男に生まれた人生観とは?
「野原の松の林のかどの、小さなカヤブキ小屋にいて
 裏に病気の子供があれば、行って看病してやり
 西に疲れた母があれば、いってその稲の束を負い
 南に死ぬような人があれば、いってこわがらなくても良いといい
 北に喧嘩や訴訟があれば、つまらないからやめろといい
 日照りのときは涙を流し、寒さの夏はおろおろ歩き
 みんなにデクと呼ばれ、ほめられもせず
 苦もされず、そういうものに私はなりたい。」
(宮沢賢治)

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