真空成膜法 スパッタリング
真空装置の代表的な成膜法であるスパッタリング。
この現象を利用して産業用製品から一般消費材まで
幅広い加工法として知られ、いわゆる「スパッタ装置」
はありとあらゆる真空装置メーカーさんが製品化している
代表的真空装置です。
それではスパッタ（スパッタリング）とはどんな現象なのでしょうか？
高エネルギーの原子や分子が固体に衝突すると、固体表面から
原子が叩き出されてきます。このときスパッタされる固体をターゲット
と呼び、基板とターゲットを対向させておき、数 Pa 〜 数十 Pa 程度の
Ar ガス雰囲気中でターゲットに数 kV の負の直流高電圧を印加します。
すると放電現象が生じ Ar ガスがイオン化してターゲットに衝突し
原子を叩き出すのです。この原子を基板上に堆積させて薄膜を
形成するわけです。
ターゲット背面に磁石を設置し成膜速度を向上させたマグネトロン
スパッタ装置産業界では利用されています。
マグネトロン、スパッタソースを弊社でもお取り扱いしております。
また、スパッタ装置の設計・製作もご相談に応じご希望の仕様で
お作りいたします。
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
男に生まれた人生観とは？
「悔いに満ちた人生ではあるが、それが私にとって私の人生なのだ。
私としては精一杯生きてきた人生である。それと違った人生を
はたして私が持ち得たかどうか。悔いに満ちたこの人生こそ私の人生で
それ以外に私の人生はありえなかったのだ。
それは私が私の人生を、悔いに満ちた人生にせよ、不遇の人生だった
とは思わないから。事実、私は私の人生を不遇とは思わない。
と同時に、私の人生を何も栄達の人生だとも思っていない。
つまり客観的に私の人生がどうあろうと、私のこの人生しか私には
なかったのだ。人生とは私にとって、私の人生しかないのだ。」
（高見順）