特殊材料ガス
半導体材料ガスに代表される特殊材料ガスは
強い反応性ガスが多く、取扱いには最新の注意が必要です。
注意事項を列記いたします。
・プロセスガスのパージラインは、可燃性ガスと支燃性ガスを
別個に設けましょう。
（混合しての爆発事故になります。）
・可燃性ガスの電気設備は防爆構造にしましょう。
（静電気が着火源になり発火事故に繋がります。）
・ボンベの元バルブ開閉は、ゆっくりと開閉しましょう。
（調整器が開放されていると二次側まで高圧が回り込みます。）
・容器交換前のパージは、「やってあるだろう」などといった
未確認作業厳禁です。
（パージは確実に行いましょう。毒性ガスの漏洩を自ら起こすことになります。）
・装置などの排気系ポンプメンテナンスなど、何の毒性ガスを使用していたか
必ず確認しましょう。
（堆積物やデッドスペースから吹き出しに事故なることもあります。）
・実務担当者は、高圧ガス消費者講習など基礎知識を学んだ上
実作業に当たりましょう。
（毒性ガスのボンベ袋ナットを、増し締めしようとして右に廻したら
緩んでしまったなど、ありがちです。）
・緊急時の対応策は、皆で周知して行動することが大切です。
（C/R内などからの退出時に焦ってでられないとか起こります。）
・空気呼吸器など安全器具は、必ず備え付けましょう。
（ガス漏洩しててもニオイはないしちょっとだけ、が大事故になります。）
・ガスの物性に適した材質を選定しましょう。
（継手部、バルブシート、調整器シートなど反応ガスに対応してますか？）
以上ですが、「あたりまえでしょう！」と言えますでしょうか？
過信慢心も、十分注意です。
特殊材料ガス、特殊ガス用ガス機器、特殊ガス配管工事は
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
成功と失敗を生かすには？
「青年の辞書のなかには
＜失敗＞ということばはない。」
（リットン）