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特殊材料ガス

半導体材料ガスに代表される特殊材料ガスは
強い反応性ガスが多く、取扱いには最新の注意が必要です。

注意事項を列記いたします。

・プロセスガスのパージラインは、可燃性ガスと支燃性ガスを
 別個に設けましょう。
 (混合しての爆発事故になります。)

・可燃性ガスの電気設備は防爆構造にしましょう。
 (静電気が着火源になり発火事故に繋がります。)
 
・ボンベの元バルブ開閉は、ゆっくりと開閉しましょう。
 (調整器が開放されていると二次側まで高圧が回り込みます。)

・容器交換前のパージは、「やってあるだろう」などといった
 未確認作業厳禁です。
 (パージは確実に行いましょう。毒性ガスの漏洩を自ら起こすことになります。)

・装置などの排気系ポンプメンテナンスなど、何の毒性ガスを使用していたか
 必ず確認しましょう。
 (堆積物やデッドスペースから吹き出しに事故なることもあります。)

・実務担当者は、高圧ガス消費者講習など基礎知識を学んだ上
 実作業に当たりましょう。
 (毒性ガスのボンベ袋ナットを、増し締めしようとして右に廻したら
  緩んでしまったなど、ありがちです。)

・緊急時の対応策は、皆で周知して行動することが大切です。
 (C/R内などからの退出時に焦ってでられないとか起こります。)

・空気呼吸器など安全器具は、必ず備え付けましょう。
 (ガス漏洩しててもニオイはないしちょっとだけ、が大事故になります。)

・ガスの物性に適した材質を選定しましょう。
 (継手部、バルブシート、調整器シートなど反応ガスに対応してますか?)

以上ですが、「あたりまえでしょう!」と言えますでしょうか?
過信慢心も、十分注意です。

特殊材料ガス、特殊ガス用ガス機器、特殊ガス配管工事は
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665

ありがとうございます。

今日の格言
成功と失敗を生かすには?
「青年の辞書のなかには
 <失敗>ということばはない。」
(リットン)

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