チタンゲッタポンプ
真空中で、金属のチタンを蒸発させて真空容器の
内壁に膜を作ります。この膜の蒸着面に気体分子を
閉じ込めるように吸着させる真空排気ポンプです。
チタンの合金をフィラメント状にしたものだとか
タングステンフィラメントとチタンを線状にしたものや
チタンの薄板で半球状の中空の球をを作って
内部ヒーターで加熱・蒸発させる方法などあります。
これらの手段は、吸着した気体の量が増えていくと
いずれ吸着しなくなります。さらには、チタンを蒸発させて
引き続いて使用しますが、いずれチタンの蒸着膜が厚くなるので
膜の除去などメンテナンスも必要になる高真空用ポンプです。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
理想への挑戦とは？
「一歩後退、二歩前進。」
（レーニン）