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チタンゲッタポンプ

 真空中で、金属のチタンを蒸発させて真空容器の
内壁に膜を作ります。この膜の蒸着面に気体分子を
閉じ込めるように吸着させる真空排気ポンプです。
 
 チタンの合金をフィラメント状にしたものだとか
タングステンフィラメントとチタンを線状にしたものや
チタンの薄板で半球状の中空の球をを作って
内部ヒーターで加熱・蒸発させる方法などあります。

これらの手段は、吸着した気体の量が増えていくと
いずれ吸着しなくなります。さらには、チタンを蒸発させて
引き続いて使用しますが、いずれチタンの蒸着膜が厚くなるので
膜の除去などメンテナンスも必要になる高真空用ポンプです。

高圧ガス、低温機器、真空機器
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