パーティクルカウント
配管工事を施行した後、高純度ガスや反応性の強いガスなど
配管内に残留しているパーティクル(簡単に言えばゴミ)がどれ
だけ残っているか検査しないと、せっかくキレイな純度の高い
ボンベの高純度ガスが、配管で汚れます。
どうやって調べるの?
「パーティクルカウント」
パイプの一方の管端より液体窒素ブロー(LN2ブロー)を行います。
もう一方の管端から平均流速(アルモメーターにて)が、8m/sec
になるように流量を調整します。
そして流速調整を行った管端で、パーティクル測定器(例:リオン製
KC-03,KC-18など)の検知部をパイプの中央にセッティングします。
そしてサンプリングします。
1cf(1キュービックフィート)中の粒子数が測定値を示しています。
測定可能粒子径 0.3/0.5/1/2/5 μm または 0.1μm の場合には
0.1cf中の粒子数について測定値を示すのです。
例えば、パイプの規格では
BA管(光輝焼鈍管) 0.3 μ 粒子 10個以下/cf
EP管(電解研磨管) 0.1 μ 粒子 1個以下/cf
となっております。
時間をかければいずれ出て行くのですけど、なかなか出て行きません。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
理想への挑戦とは?
「われわれがもっとも必要とすることとは、事実を
理想化するように、理想を現実化しないことだ。」
(ヘッジ)