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ガスの単位

まずは、空気容量の表し方は下記のように定義されまています。

Nm3(ノルマルリューベ)
1.033Kg/cm3 abs、0℃(273°K)

m3(リューベ)
その状態での表示。例えば大気圧下、20℃のこと。

Sm3(スタンダードリューべ)
日本のメーカーでは使われておりませんが
14.4PSIA 60℃(1.02Kg/cm3 abs 15.6℃)

上記の空気が水分のない状態(DRY BASE)であるか
水分を含んだ状態(WET BASE)であるかにより実際の容量は
異なってきます。
※業界によって上記の基準が異なる場合がありますのでご注意ください。
 また、恐れ入りますが、関係する業界での指標値をご自身で
 その都度ご確認いただきますようよろしくお願い致します。

次に気体の流量単位です。

(ノルマル) 
1気圧・0℃の状態に換算した気体の流量を表します。

(スタンダード) 
1気圧・20℃の状態に換算した気体の流量を表します。

両方とも、質量流量計に限って使われる単位で、タービンや
膜式などの体積流量計と対比するときに意味を持ちますが
国際的計測単位(SI)の呼称としては認められておりません。
よって今後の表記はL/min(standard)、m3/h(normal)に改め
ていきます。

次に SEMI 半導体工業会単位です。

SCCM、SLM(エスシーシーエム、エスエルエム)
0℃、1気圧の状態での流量。

CCM、LM(シーシーエム、エルエム)
25℃、1気圧の状態での流量。

こちらの数値も、SI単位系により Pa・m3/sec へ変更されていく
ことと思われます。

高圧ガス、低温機器、真空機器 
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「青春は人生にたった一度しかない。」
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