真空ポンプ
真空ポンプには多様な種類があります。
その中で、高真空用のポンプでは
油拡散ポンプ（ディフュージョンポンプ）やターボ分子ポンプ
クライオポンプなどあります。
ゲッターポンプをご存知でしょうか？
ジルコニウム、パナジウム、鉄などが
気体分子を吸着させ真空排気させるものです。
金属表面が気体分子などに覆われると排気能力が
下がるため、定期的に再活性化をする必要があります。
但し、希ガスはこれら金属に吸着しないため
これらのガスに対する排気速度は無い。
ガス精製機にも使用されている チタン（ Ti ） ジルコニウム（ Zr ） は
やはり金属のゲッター効果を利用してます。
これらの金属を ５００〜８００℃ に加熱すると
表面が昇華し、清浄な表面を作ります。
Ti , Zr は化学的に活性なために
水素・酸素・窒素・一酸化炭素もしくはその他の不活性ガスを
化学的に吸着し、ガスを精製することができるのです。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「おまえがいつの日か出会う禍いは
おまえがおろそかにしたある時間の報いだ。」
（ナポレオン）