真空装置 実験装置から産業用生産装置まで製作致します。 また、真空紫外分光装置は光研工業(株)とタイアップし、 ご要望の真空装置を数多く製作しお使いいただいております。 MBE装置(クリックすると大きな画像がご覧いただけます。) 大型高真空分光装置 高真空真空紫外装置＋クライオスタット立ち上げの様子 超高真空仕様蒸着装置
