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改造・保守

真空装置へのガス導入系統の追加、排気系ドライ化への更新、真空ポンプのオーバーホール、既設装置の洗浄、改造作業をいたします。

ＭＦＣによる新たなガスの導入系統の追加

(クリックすると大きな画像がご覧いただけます。)

As,P,B に汚染されたチャンバーの無害化処理廃棄

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