シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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特殊ガス

一般高圧ガスに比べ純度を高めた高純度ガス、半導体産業に使用される特殊材料ガス、特殊な環境、新たな取組み使用される反応性の高い毒性ガス、腐食性ガス、自燃性ガス、安定性の高い標準ガス、等まだまだ用途は広がります。

取扱い特殊ガス品目
高純度酸素ガス O2 純度 99.9~99.99995%up
高純度窒素ガス N2 純度 99.9995%~99.99995%up
高純度アルゴンガス Ar 純度 99.999~99.9999%up
高純度空気 Air 大気組成 CO,CO2,THC<1~0.1vol.ppm
高純度水素ガス H2 純度 99.999~99.99999%up
高純度ヘリウムガス He 純度 99.999~99.99995%up
高純度炭酸ガス CO2 純度 99.995%up
高純度一酸化炭素ガス CO 純度 99.95~99.995%up
高純度メタンガス CH4 純度 99.9~99.999%up
高純度ネオンガス Ne 純度 99.999%up
高純度クリプトンガス Kr 純度 99.999%up
高純度キセノンガス Xe 純度 99.999%up
高純度一酸化窒素ガス NO 純度 99%up
高純度硫化水素ガス H2S 純度 99.99%up
重水素ガス D2 純度 99.6%up
高純度エチレンガス C2H4 純度 99.9%up
高純度エタンガス C2H6 純度 99.7%up
高純度トリメチルシランガス SiH(CH3)3 純度 99.99%up
高純度四フッ化ケイ素ガス SiF4 純度 99.9995up
高純度六フッカタングステンガス WF6 純度 99.999%up
高純度四塩化チタンガス TiCl4 純度 99.99999%up
高純度アンモニアガス NH3 純度 99.999%up
高純度亜酸化窒素ガス N2O 純度 99.99~99.999%up
高純度三フッ化窒素ガス NF3 純度 99.9~99.99%up
高純度フロン116ガス C2F6 純度 99.995%up
高純度ヘキサフルオロプロピレンガス C3F6 純度 99.5%up
高純度フロン218ガス C3F8 純度 99.9%up
高純度ヘキサフルオロ1,3ブタジエンガス C4F6 純度 99.9%up
高純度フロンC318ガス C4F8 純度 99.99%up
高純度オクタフルオロシクロペンテンZFL58 C5F8 純度 99.99%up
高純度フロン14ガス CF4 純度 99.99~99.999%up
高純度フロン23ガス CHF3 純度 99.995%up
高純度ペンタフルオロエタンガス C2HF5 純度 99.6%up
高純度フロン32ガス CH2F2 純度 99.99%up
高純度フロン41ガス CH3F 純度 99.9%up
高純度三フッ化塩素ガス ClF3 純度 99.9%up
高純度六フッ化硫黄ガス SF6 純度 99.999%up
高純度塩素ガス Cl2 純度 99.999%up
高純度三塩化ホウ素ガス BCl3 純度 99.9999%up
高純度臭化水素ガス HBr 純度 99.999%up
高純度塩化水素ガス HCl 純度 99.999%up
高純度三フッ化ホウ素ガス BF3 純度 99.8~99.99%up
高純度三フッ化リンガス PF3 純度 99%up
高純度ヨウ化水素ガス HI 純度 99.999%up
高純度フッ化水素ガス HF 純度 99.9%up

工業用ガス

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