特殊ガス
一般高圧ガスに比べ純度を高めた高純度ガス、半導体産業に使用される特殊材料ガス、特殊な環境、新たな取組み使用される反応性の高い毒性ガス、腐食性ガス、自燃性ガス、安定性の高い標準ガス、等まだまだ用途は広がります。
| 取扱い特殊ガス品目 | ||
|---|---|---|
| 高純度酸素ガス | O2 | 純度 99.9～99.99995%up |
| 高純度窒素ガス | N2 | 純度 99.9995%～99.99995%up |
| 高純度アルゴンガス | Ar | 純度 99.999～99.9999%up |
| 高純度空気 | Air | 大気組成 CO,CO２,THC＜1～0.1vol.ppm |
| 高純度水素ガス | H2 | 純度 99.999～99.99999%up |
| 高純度ヘリウムガス | He | 純度 99.999～99.99995%up |
| 高純度炭酸ガス | CO2 | 純度 99.995%up |
| 高純度一酸化炭素ガス | CO | 純度 99.95～99.995%up |
| 高純度メタンガス | CH4 | 純度 99.9～99.999%up |
| 高純度ネオンガス | Ne | 純度 99.999%up |
| 高純度クリプトンガス | Kr | 純度 99.999%up |
| 高純度キセノンガス | Xe | 純度 99.999%up |
| 高純度一酸化窒素ガス | NO | 純度 99%up |
| 高純度硫化水素ガス | H2S | 純度 99.99%up |
| 重水素ガス | D2 | 純度 99.6%up |
| 高純度エチレンガス | C2H4 | 純度 99.9%up |
| 高純度エタンガス | C2H6 | 純度 99.7%up |
| 高純度トリメチルシランガス | SiH(CH3)3 | 純度 99.99%up |
| 高純度四フッ化ケイ素ガス | SiF4 | 純度 99.9995up |
| 高純度六フッカタングステンガス | WF6 | 純度 99.999%up |
| 高純度四塩化チタンガス | TiCl4 | 純度 99.99999%up |
| 高純度アンモニアガス | NH3 | 純度 99.999%up |
| 高純度亜酸化窒素ガス | N2O | 純度 99.99～99.999%up |
| 高純度三フッ化窒素ガス | NF3 | 純度 99.9～99.99%up |
| 高純度フロン116ガス | C2F6 | 純度 99.995%up |
| 高純度ヘキサフルオロプロピレンガス | C3F6 | 純度 99.5%up |
| 高純度フロン218ガス | C3F8 | 純度 99.9%up |
| 高純度ヘキサフルオロ1,3ブタジエンガス | C4F6 | 純度 99.9%up |
| 高純度フロンC318ガス | C4F8 | 純度 99.99%up |
| 高純度オクタフルオロシクロペンテンZFL58 | C5F8 | 純度 99.99%up |
| 高純度フロン14ガス | CF4 | 純度 99.99～99.999%up |
| 高純度フロン23ガス | CHF3 | 純度 99.995%up |
| 高純度ペンタフルオロエタンガス | C2HF5 | 純度 99.6%up |
| 高純度フロン32ガス | CH2F2 | 純度 99.99%up |
| 高純度フロン41ガス | CH3F | 純度 99.9%up |
| 高純度三フッ化塩素ガス | ClF3 | 純度 99.9%up |
| 高純度六フッ化硫黄ガス | SF6 | 純度 99.999%up |
| 高純度塩素ガス | Cl2 | 純度 99.999%up |
| 高純度三塩化ホウ素ガス | BCl3 | 純度 99.9999%up |
| 高純度臭化水素ガス | HBr | 純度 99.999%up |
| 高純度塩化水素ガス | HCl | 純度 99.999%up |
| 高純度三フッ化ホウ素ガス | BF3 | 純度 99.8～99.99%up |
| 高純度三フッ化リンガス | PF3 | 純度 99%up |
| 高純度ヨウ化水素ガス | HI | 純度 99.999%up |
| 高純度フッ化水素ガス | HF | 純度 99.9%up |
工業用ガス
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