シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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シリンダーキャビネット

可燃性ガス・毒性ガス・腐食系ガスなどの汎用ガスから特殊材料ガスまで、高圧ガス保安法規制に適合した シリンダーキャビネット をご希望の仕様(メーカー・グレード・ご予算)に応じてアッセンブリ致します。

価格:ご相談ください
納期:御下命後 約 3 週間
(ex 47L 容器 2 本立て・各容器独立調整器・バルブ・連結管・ VCR 自動溶接施工)

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MOCVD 用特殊材料ガス 47L 容器3本、 10L 容器2本立て
MOCVD 用特殊材料ガス 47L 容器3本、 10L 容器2本立て・3系統供給・自動溶接施工・ガス検知緊急遮断付属・シーケンス制御(グラパネ仕様)シリンダーキャビネット

高純度水素ガス47L容器5本立て
高純度水素ガス47L容器5本立て シリンダーキャビネット・手動切替・1系統供給・自動溶接施工・ガス検知緊急遮断付属

高純度水素ガス47L容器5本立て
同上

「キャビネット内配管」SUS316L1/4 EP VCR施行配管
「キャビネット内配管」SUS316L1/4" EP VCR施行配管

「キャビネット+制御盤」ガス漏洩検知器+ボンベ緊急遮断連動制御盤
「キャビネット+制御盤」ガス漏洩検知器+ボンベ緊急遮断連動制御盤

「エキシマレーザー He+F2ガス用キャビネット」エキシマレーザー+レーザーガス用キャビネット
「エキシマレーザー He+F2ガス用キャビネット」エキシマレーザー+レーザーガス用キャビネット

高圧ガス保安法 一般高圧ガス保安規則

高圧ガスボンベを収納する「シリンダーキャビネット」は 高圧ガス保安法 一般高圧ガス保安規則による以下の 規定に定められています。

(定置式製造設備に係る技術上の基準)
第六条第一項第四十二条二
充填容器(断熱材で被覆してるものを除く。)に係る容器置場(可燃性ガス及び酸素のものに限る。)には、直射日光を遮るための措置(当該ガスが漏えいし、爆発したときに発生する爆風が上方向に解放されることを妨げないものに限る。)を講ずること。
ただし、充てん容器をシリンダーキャビネットに収納した場合はこの限りではない。

(移動式製造設備に係る技術上の基準)
第八条第一項第五号
貯蔵設備である充てん容器等及びその容器置場は、第六条第一項第四十二号の基準に適合すること。

(容器により貯蔵する場合の技術上の基準)
第二十三条第一号
容器が配管により接続されたものにあっては、その外面から第一種保安物件に対し第一種設備距離以上、第二種保安物件に対し第二種設備距離以上の距離を有し、かつ、第六条第一項第四十二号イおよびニからチまでの基準に適合すること。

第二十三条第三号
容器が配管により接続されていないものにあっては、第六条第一項第四十二条の基準に適合すること。

「シリンダーキャビネット」についての細かな基準は
一般則例示基準35項に規定されております。

規則関係条項
第六条第一項第四十二号二
第八条第一項第五号
第二十三条第一号、第三号

シリンダーキャビネットは、次の各号に掲げる基準によるものする。

1、シリンダーキャビネット内の空気を常に屋外排気し、かつ、常に内部の圧力が外部より低いことを確認できる措置を講ずること。
2、シリンダーキャビネットに使用する材料は、不燃性のものであること。
3、シリンダーキャビネット内の設備のうち高圧ガスの通る部分は常用の圧力の1.1倍以上の圧力で行う耐圧試験及び常用の圧力以上で行う気密試験に合格するものであること。
4、シリンダーキャビネットには、内部を除くための窓を設けること。
5、シリンダーキャビネット内の圧力計、流量計など機器類および配管の内面に使用する材料は、本基準9、ガス設備などに使用する適合するものであること。
6、シリンダーキャビネット内の配管接続部および機器類は、容易に点検することができること。
7、シリンダーキャビネット内の充填容器など又はこれに取り付けた配管にはシリンダーキャビネット外から操作することが出来る緊急遮断装置を設けること。
8、シリンダーキャビネット内の設備を自動的に制御する装置、1の規定により設けられた排出のための装置その他保安の確保に必要な設備にあっては、停電などにより当が施設の機能が失われることの無いよう保安電力を有するなどの措置を講ずること。
9、シリンダーキャビネット内の充填容器などには、転倒などによる衝撃及びバルブの損傷を防止する措置を講じ、かつ、粗暴な取り扱いをしないこと。
10、シリンダーキャビネット内には、ガスの漏洩を検知し、かつ、警報するための設備を設けること。
11、シリンダーキャビネット内の配管にはガスの種類及びその流れ方向を表示すること。
12、シリンダーキャビネット内のバルブには、当該バルブの開閉方向及び開閉状態を明示すること。
13、相互に反応することにより災害の発生する恐れのあるガスは、同一のシリンダーキャビネット内に収納しないこと。
14、可燃性ガスの収納されたシリンダーキャビネットには、当該シリンダーキャビネットに生ずる静電気を除去する措置を講ずること。
15、イオン注入装置において、装置一体型となって装置内に設置されているガスキャビネットなどは、シリンダーキャビネットとみなされるため、シリンダーキャビネットと同等の機能が必要となるが、当該設備においては放射線漏洩の可能性があることから実用的な覗き窓の設置が困難であり、また装置の機構上の理由から静電気除去のための設備が困難であることから当該設備については4、および14、の基準は適用せず、次の基準を適用することとする。
15ー1シリンダーキャビネットは、1日に1回以上、管理責任者またはその指示を受けた者が次の事項につき点検し、かつ、シリンダーキャビネットの近傍に備え付けた残ガス管理票に残圧(一次圧・二次圧)を記入すること。
  1)シリンダーキャビネット内の負圧の確認
  2)A検知警報器の検出端部の以上の有無の確認
  3)緊急遮断弁の取り付け状態の確認
  4)バブルの開閉方向の確認
  5)ガスの流れ方向表示の確認
  6)容器、配管、機器類の固定状態の確認
  7)配管、機器類、排気ダクト類の発錆、ゆがみなど
  以上の有無の確認
  8)専用冶工具の配備の確認
  9)保護具の配備の確認
15ー2当該装置の筐体部分を設置しておくこと。この場合設置接続線は通常の使用状態で容易に腐食や断線しないものを用い、ロウ付け、溶接、接続金具など使用する方法によって確実に接続すること。
15ー3電気的に絶縁された可燃性ガスの消費にかかる部分については、抵抗を介し蓄積された荷電が適切に放電される構造であること。また、使用後はアース棒などにより速やかに除電すること。

How to ガス法令
「N2O (亜酸化窒素)と SiH4(モノシラン)は一緒でいいの?」
シリンダーキャビネットの中編

答えは「絶対ダメ」です!!

シリンダーキャビネットの中で支燃性ガスと可燃性ガスは混在できません。

適用法令(一般則関係例示基準35、13)
「相互に反応することにより火災の発生するおそれのあるガスは、同一シリンダーキャビネット内に収納しないこと」

How to ガス法令
「N2O (亜酸化窒素)と SiH4(モノシラン)は一緒でいいの?」
パージライン編

答えは「前項よりもっとダメ」です!!

直接配管でつながっているということは・・・。
爆発事故になります。

適用法令(一般則 第55条第一項十七号)
「特殊材料ガスの消費設備は、その内部を不活性ガスにより置換することができる構造又はその内部を真空にすることができる構造とすること。
この場合において、一の種類の特殊材料ガスの配管内に不活性ガスを供給する配管は他の種類のガスその他の流体 (当該一の種類の特殊高圧ガスと相互に反応することにより災害の発生するおそれがあるガスその他の流体に限る) の配管内に不活性ガスを供給する配管と系統を別にすること」

 

配管工事

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