カバーガラス付ビューポート
ビューポートの窓材を容易に交換
できるカバーガラス付きビューポートのご紹介です。
一度膜付けされてしまうと絶対落ちないくらいの汚れが
付着し真空フランジごとビューポートを交換するのが常です。
蒸着装置などほんとに汚くなりますよね。そのような汚れを
カバーガラスに付着させ(真空封止する窓材とは違います)
そのカバーガラスだけを洗浄したり交換することが可能です。
カバーガラス自体は薄い窓料を使用していますので価格も
安価です。
特徴としては、超高真空に対応し、ベーキングは150℃
まで可能です。カバーガラスだけをお買い求めいただいても
構いません。
取り扱いフランジは ISO100,ISO160,ISO200 の
3種類で、有効内径はそれぞれ 92mm , 130mm , 190mm
です。
*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。