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超高真空対応除震システム

超高真空対応除震システム VIBRATION ISOLATOR です。

 表面分析装置や精密加工が必要な装置など、真空排気系の
ポンプ自ら発生する振動が問題になることがあります。そのよう
な時にご利用いただきたいのがこの商品です。

 例えばターボ分子ポンプの振動を十分の一に軽減させること
が可能です。主な特徴として、超高真空仕様であり、ベーク温度
250℃が可能、成形ベローズを利用しているので有効内径を最
大限広げており、取り付けフランジごとに
・ISO63 x 内径 φ35 ,重量 1.4kg
・ISO100 x 内径 φ75 , 重量 1.7kg
・ISO160 x 内径 φ95 , 重量 3.2kg
・ICF114 x 内径 φ35 , 重量 3.3kg
・ICF152 x 内径 φ75 , 重量 4.5kg
・ICF203 x 内径 φ95 , 重量 6.0kg
となっております。

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。

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