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ターボ分子ポンプ

 ターボ分子ポンプは高速回転体で作られたタービン翼と
固定された翼の組み合わせで構成されています。タービン
翼は回転の周速度ガス分子の運動速度とほぼ同じ領域で
傾斜したタービン翼で高真空側から低真空側にガス分子を
圧縮させます。

 常温のガス分子の運動の速度はガス分子の種類によって
異なり、分子量の小さいものほど運動速度は大きいのです。

ですから水素やヘリウムなども排気できる排気速度と圧縮
比が得られるように設計されています。ゆえにターボ分子ポ
ンプは本質的にガスを圧縮する機械といえます。

 タービン翼と固定翼の組み合わせで高真空側から低真空
側にガスをはじき飛ばしていきますが、結果的に圧力差が生
じます。この圧力比を圧縮比ともいいます。

 ターボ分子ポンプは油拡散ポンプなどのようにガス分子を
大気側に放出するタイプです。タービン翼の回転数は1分間
あたり数万回転で、毎秒50リットルの小型機種では9万回転
にも達するのです。

排気量 5000L/sec ! 大型TMP 大きな排気口ですね。

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。

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