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K-Cell

K-Cell

有機蒸着セル
・ICF70 のコンパクト設計
・2層ヒーター構造でルツボの温度勾配設定可能
・ルツボを変更し2源蒸着セルへ変更可能
・シャッター標準装備
・± 0.1 ℃ による温度設定可能
・素材の温度村防止の熱電ボール付属
ルツボ容量   : 8cc (1源) / 4cc (2源)
加熱制御温度 : 100 ~ 500 ℃
ルツボ材質   : PBN/石英/高密度カーボン
取り付けフランジ : ICF70
電源コントローラー  : 主電源 AC100V (PID制御)

金属蒸着セル
・ルツボ容量10ccで手軽に使用可能
・均一なルツボ温度
・メンテナンスが容易
・安定性、操作性に優れています
応用蒸着材料
・Al , As , Ga , In , P , Si
仕様
常用加熱温度 : 1200 ℃
最高加熱温度 : 1400 ℃
ルツボ材質   : PBN (Pure Boron Nitride)
ヒーター     : Ta ( Tantalum)
熱電対     : W 5% / WRe 26%
熱シールド   : Ta 多層シールド法
取り付けフランジ : ICF70

オプション
・ガス導入機構2系統
・Kセル、ターゲット間コーン型シールド
・イオンフローコントロールシャッター
・外部コントロール(各種パーツ)

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。

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