ゲッターポンプ

真空ポンプには多様な種類があります。
その中で、高真空用のポンプでは
油拡散ポンプ（ディフュージョンポンプ）やターボ分子ポンプ
クライオポンプなどあります。

ゲッターポンプをご存知でしょうか？

ジルコニウム、パナジウム、鉄などが
気体分子を吸着させ真空排気させるものです。
金属表面が気体分子などに覆われると排気能力が
下がるため、定期的に再活性化をする必要があります。
但し、希ガスはこれら金属に吸着しないため
これらのガスに対する排気速度は無い。

ガス精製機にも使用されている　チタン（ Ti ）　ジルコニウム（ Zr ）　は
やはり金属のゲッター効果を利用してます。

これらの金属を　５００～８００℃　に加熱すると
表面が昇華し、清浄な表面を作ります。
Ti , Zr は化学的に活性なために
水素・酸素・窒素・一酸化炭素もしくはその他の不活性ガスを
化学的に吸着し、ガスを精製することができるのです。

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。