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液体小流量測定用マスフロコントローラー

小流量の気体・液体測定分野で困難とされてきた
高精度とゼロ安定性を確立したマスフロコントローラーが
ブルックス製 QUANTIM シリーズです。

心臓部がコリオリ式質量流量センサー(特許)を採用して
おり、流体の種類やプロセス変量(粘度・密度など)の影響を
受けることなく流量制御が可能です。

直接質量流量を計測するため流量計機器の交換や再校正
をすることなくプロセスの化学作用やプロセス条件を変えること
ができ、内部に可動部がないのでメンテナンスの必要性が抑
えられ全体の維持管理費用を低減することができます。

どのような液体でも実質的にその性質に影響されることなく
小流量を正確に計測・制御できるため、特殊薬品、石油化学品
医薬品、半導体、分析器、研究室などの分野で、食品添加物
CVD原料、触媒、炭化水素、抑制剤、栄養素など取り扱いの
難しいプロセス流体の管理に最適です。

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。

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