川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ 048-282-3665

汎用型マスフローコントローラー(高圧対応可)

アナログマスフローコントローラEシリーズは、半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用など、あらゆるプロセスに対応しています。またコストパフォーマンスを徹底追及したスタンダードモデルであり、汎用ガスラインに適しております。

メーカー :ブルックスインスツルメント株式会社
型番   :5850E(高圧用)
仕様   :精度±1% F.S. 応答性3秒以内(F.S.±2%到達)
ガス種  :ご注文時にご指定願います。
流量範囲 :フルスケール 30mL/min~30L/minでご注文時にご指定願います。
最高圧力 :10MPa
本体材質 :SUS316L、バイトン
継手サイズ:サイズ:1/8、1/4、タイプ:SWL、VCRタイプ(他お問合せ下さい)
入出力信号:0~5VDC

*フルスケールが10~100L/min対応モデルは、5851Eです。
*フルスケールが100~1,000L/min対応モデルは、5853Eです。

*制御用電源、ケーブル類も別途ご用意しております。
*販売価格と仕様は、弊社までお問い合わせ下さい。

この商品について問い合わせる

川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ  048-282-3665