汎用型マスフローコントローラー(高圧対応可)

アナログマスフローコントローラEシリーズは、半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用など、あらゆるプロセスに対応しています。またコストパフォーマンスを徹底追及したスタンダードモデルであり、汎用ガスラインに適しております。

メーカー　：ブルックスインスツルメント株式会社
型番　　　：5850E(高圧用)
仕様　　　：精度±1% F.S.　応答性3秒以内(F.S.±2%到達)
ガス種　　：ご注文時にご指定願います。
流量範囲　：フルスケール　30mL/min～30L/minでご注文時にご指定願います。
最高圧力　：10MPa
本体材質　：SUS316L、バイトン
継手サイズ：サイズ：1/8、1/4、タイプ：SWL、VCRタイプ(他お問合せ下さい)
入出力信号：0～5VDC

＊フルスケールが10～100L/min対応モデルは、5851Eです。
＊フルスケールが100～1,000L/min対応モデルは、5853Eです。

*制御用電源、ケーブル類も別途ご用意しております。
*販売価格と仕様は、弊社までお問い合わせ下さい。