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超高温用マスフローコントローラ


販売価格:608000円

使用温度150℃、ベーキング温度200℃の高温領域での動作が可能な超高温用マスフローコントローラです。有機金属材料の気相制御、個体からの昇華制御等、非常に高度なプロセスで使用できます。

メーカー :日立金属株式会社
型番   :SFC680MO
仕様   :精度±1% 応答性2秒以内(フルスケールの±2%,0.8秒 typ)
ガス種  :ご注文時にご指定願います。(可能であれば事前にご相談下さい)
流量範囲 :フルスケール 10SCCM〜100SLMでご注文時にご指定願います。
本体材質 :SUS316L、内面特殊電解研磨仕様
継手サイズ:1/4UJRタイプ
*仕様最高温度80℃、ベーキング温度150℃のSFC580シリーズもございます。

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