超高温用マスフローコントローラ

販売価格：608000円

使用温度150℃、ベーキング温度200℃の高温領域での動作が可能な超高温用マスフローコントローラです。有機金属材料の気相制御、個体からの昇華制御等、非常に高度なプロセスで使用できます。

メーカー　：日立金属株式会社
型番　　　：SFC680MO
仕様　　　：精度±1%　応答性2秒以内(フルスケールの±2％,0.8秒 typ)
ガス種　　：ご注文時にご指定願います。(可能であれば事前にご相談下さい)
流量範囲　：フルスケール　10SCCM〜100SLMでご注文時にご指定願います。
本体材質　：SUS316L、内面特殊電解研磨仕様
継手サイズ：1/4UJRタイプ
＊仕様最高温度80℃、ベーキング温度150℃のSFC580シリーズもございます。