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コンパクトディジタル・マスフローコントローラ


販売価格:280000円

300mmウエハープロセスに対応した高機能マスフローコントローラです。従来のマスフローでは実現できなかったワイドレンジでの高精度、高速応答を実現します。
メーカー :日立金属株式会社
型番   :SFC1480FMC/MO
仕様   :精度±0.5% 応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ)
ガス種  :ご注文時にご指定願います。
流量範囲 :フルスケール 10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定願います。
本体材質 :SUS316L、内面特殊電解研磨仕様
継手サイズ:1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能
*ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもございます。

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