コンパクトディジタル・マスフローコントローラ

販売価格：280000円

300mmウエハープロセスに対応した高機能マスフローコントローラです。従来のマスフローでは実現できなかったワイドレンジでの高精度、高速応答を実現します。
メーカー　：日立金属株式会社
型番　　　：SFC1480FMC/MO
仕様　　　：精度±0.5%　応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ)
ガス種　　：ご注文時にご指定願います。
流量範囲　：フルスケール　10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定願います。
本体材質　：SUS316L、内面特殊電解研磨仕様
継手サイズ：1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能
＊ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもございます。