コンパクトディジタル・マスフローコントローラ
販売価格:280000円
300mmウエハープロセスに対応した高機能マスフローコントローラです。従来のマスフローでは実現できなかったワイドレンジでの高精度、高速応答を実現します。
メーカー :日立金属株式会社
型番 :SFC1480FMC/MO
仕様 :精度±0.5% 応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ)
ガス種 :ご注文時にご指定願います。
流量範囲 :フルスケール 10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定願います。
本体材質 :SUS316L、内面特殊電解研磨仕様
継手サイズ:1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能
*ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもございます。