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ローコスト・マスフローコントローラ

真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途で、お使いいただけるローコスト・マスフローコントローラです。
メーカー :日立金属株式会社
型番   :SFC280ERC
仕様   :精度±2% 応答性3秒以内(F.S.±2%到達)
ガス種  :ご注文時にご指定願います。
流量範囲 :フルスケール 10SCCM〜5SLMでご注文時にご指定願います。
本体材質 :SUS316L、バイトン
継手サイズ:サイズ:1/8、1/4
タイプ:SWL、UJRタイプ
*5SLM〜20SLMの中流量対応のSFC281RCシリーズもございます。

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。

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