ローコスト・マスフローコントローラ

真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途で、お使いいただけるローコスト・マスフローコントローラです。
メーカー　：日立金属株式会社
型番　　　：SFC280ERC
仕様　　　：精度±2%　応答性3秒以内(F.S.±2%到達)
ガス種　　：ご注文時にご指定願います。
流量範囲　：フルスケール　10SCCM〜5SLMでご注文時にご指定願います。
本体材質　：SUS316L、バイトン
継手サイズ：サイズ：1/8、1/4
タイプ：SWL、UJRタイプ
＊5SLM〜20SLMの中流量対応のSFC281RCシリーズもございます。

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。