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五フッ化ヒ素等とは?

都内某所 A社さまより
「五フッ化ヒ素等」とは何のガスですか?


五フッ化ヒ素、五フッ化リン、三フッ化リン、三フッ化窒素、三フッ化ホウ素
四フッ化硫黄、四フッ化ケイ素  の7種ガスのことを言います。
 法令上で特定の用語が使われるものがあります。例えば特定高圧ガス
特殊高圧ガス、五フッ化ヒ素等、不活性ガスなどです。毒性のなどの面で
特殊高圧ガスに準じ、特別な注意を要するものとして一般側で定められて
おります。

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