流量ではなく圧力を制御したい
フジキン(株)社製 UPCシリーズ
RoHS対応オートプレッシャーコントローラ
動作原理
圧力センサを内蔵し、圧力を一定に保ちます。
- アプリケーション
- 電気信号で任意の圧力が設定可能です。
- マスフロの上流に接続すると、極めて安定な流量制御が可能です。
- 一つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えることがあります。この場合、UPCシリーズを使用することにより他のマスフロに与える影響を防止できます。（下流圧制御タイプ）
- UPCUS（上流圧制御タイプ）は、MO-CVDなどの液体ソースの内圧を一定に保ち、気化量の安定性を向上します。
- ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能です。
- 高温タイプ（150℃、250℃）・流量モニタ付モデルもラインアップ。
